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一氟甲烷
发布时间:2019-04-24 18:53:02 | 浏览次数:


产品名:一氟甲烷,氟甲烷,甲基氟、氟利昂41、HFC-41、R41

英文名:fluoromethane

CAS号:593-53-3

分子式:CH3F

分子量:34.03

纯度:>99%

外观:无色透明液体

沸点:-78.4 °C

凝固点:-142 °C

密度:0.61 g/ml,   at 25 °C(lit.)

GWP100年:150

储存:2-8 °C

包装:4.64L/10.2L/44L 钢瓶

应用:高纯一氟甲烷HFC-41气体是一种绿色、高效的蚀刻气,它可选择性地蚀刻硅化合物的薄膜,可用于半导体及电子产品的蚀刻制程中。

 
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